پس از فرآیند ساخت و تولید، ما به ابزارها و تکنیکهایی نیاز داریم تا ثابت و تبیین کنیم که مواد، ابزار و یا سیستمهایی را در مقیاس نانو ساختهایم. ابزارها و دستگاههای ساده مانند میکروسکوپهای نوری، برای مشاهده دنیای نانو کارآمد نیست. ارزیابی و تعیین مشخصات نانوساختارها نیازمند روش و ابزارهای توسعه یافته است.