کتاب «نانوفناوری و نانوالکترونیک: مواد، ادوات، تکنیک‌های اندازه‌گیری» در ابتدا با بیان کوتاهی از ورود فناوری نانو به قطعات الکتریکی و الکترونیکی، به توضیح قانون مور و توسعه صنعت نیم‌رسانا می‌پردازد؛ در ادامه و در فصل دوم جنبه‌های مکانیک کوانتوم بررسی می‌شوند. در فصل سوم نانونقص‌ها که از معروف‌ترین نوع ساختارهای نانو هستند، بررسی می‌شوند.